真空鍍膜腔體內(nèi)真空丈量是指用特定的儀器和安裝,對某一特定空間內(nèi)真空上下的測定。這種儀器或安裝稱為真空計(儀器、規(guī)管)。真空計的品種很多,通常按丈量原理可分為絕對真空計和相對真空計。凡經(jīng)過測定物理參數(shù)直接取得氣體壓強的真空計均為絕對真空計,例如U型壓力計、緊縮式真空計等,這類真空計所丈量的物理參數(shù)與氣體成分無關(guān),丈量比擬精確,但是在氣體壓強很低的狀況下,直接停止丈量是極端艱難的;而經(jīng)過丈量與壓強有關(guān)的物理量,并與絕對真空計比擬后得到壓強值的真空計則稱為相對真空計,如放電真空計,熱傳導(dǎo)真空計,電離真空計等,它的特性是丈量的精確度略差,而且和氣體的品種有關(guān)。在實踐消費中,除真空校準外,大都運用相對真空計。本節(jié)主要對電阻真空計、熱偶真空計、電離真空計的工作原理、丈量范圍等停止引見。
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