離子鍍最早是由D.M.Mattox在1963年提出的。在真空條件下，利用氣體放電使氣體或蒸發(fā)物質(zhì)離化，在氣體離子或蒸發(fā)物質(zhì)離子轟擊作用的同時(shí)，把蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)物蒸鍍?cè)诨稀?/span>

　　離子鍍是將輝光放電、等離子技術(shù)與真空蒸發(fā)鍍膜技術(shù)相結(jié)合的一門新型鍍膜技術(shù)。它兼具真空蒸鍍和濺射鍍膜的優(yōu)點(diǎn)，由于荷能粒子對(duì)基體表面的轟擊，可以使膜層附著力強(qiáng)，繞射性好，沉積速率高，對(duì)環(huán)境無污染等好處。

　　離子鍍的種類多種多樣，根據(jù)鍍料的氣化方式(電阻加熱、電子束加熱、等離子電子束加熱、多弧加熱、高頻感應(yīng)加熱等)、氣化分子或原子的離化和激發(fā)方式(輝光放電型、電子束型、熱電子型、等離子電子束型等)，以及不同的蒸發(fā)源與不同的電離方式、激發(fā)方式可以有很多種不同的組合方式。

　　總體來說比較常用的有：直流放電二極型、多陰極型、活性反應(yīng)蒸鍍(ARE)、空心陰極放電離子鍍(HCD)、射頻放電離子鍍(RFIP)、增強(qiáng)的ARE型、低壓等離子型離子鍍(LP-PD)、電場(chǎng)蒸發(fā)、感應(yīng)加熱離子鍍、多弧離子鍍、電弧放電型高真空離子鍍、離化團(tuán)束鍍等。

　　由于離子鍍膜層具有非常優(yōu)良的性能，所以越來越受到人們的重視，特別是離子鍍TiN、TiC在工具、模具的超硬鍍膜、裝飾鍍膜等領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛，并將占據(jù)越來越重要的地位。

　　在鐘表行業(yè)，因?yàn)殁仧o毒無污染，與人體皮膚接觸，不會(huì)引起過敏等不良反應(yīng)，在表帶上沉積一層鈦膜還能起到表面裝飾的作用，可以做成金黃、黑色、灰色、紅棕色、橙色等很多種顏色，增加美觀效果。

　　在機(jī)加工刀具方面，鍍制的TiN、TiC以其硬度高、耐磨性好，不粘刀等特性，使得刀具的使用壽命可提高3～10倍，生產(chǎn)效率也大大提高。

　　在固體潤(rùn)滑膜方面，最新研制的多相納米復(fù)合膜TiN-MoS2/Ti及TiN-MoS2/WSe2，這類薄膜具有摩擦系數(shù)低，摩擦噪聲小，抗潮濕氧化能力較高，高低溫性能好，抗粉塵磨損能力較強(qiáng)及磨損壽命較長(zhǎng)等特點(diǎn)，被廣泛運(yùn)用于車輛零部件上。

　　與此同時(shí)，離子鍍鈦也在航空航天，光學(xué)器件等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛，收效顯著。